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MEMS 探针卡

MEMS探针卡主要应用于先进制程晶圆的测试，具有小间距、高同测数、高针数等显著优势。

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产品特点

• 针尖 Over Drive: 50um-150um

• 间距: ≥ 45um

• 高针数: 40k+

• 满足Kelvin 测试

• 测试误判率: ≤1%

• 三温测试: -55°C~175°C

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