晶圆测试探针-UIGreen 和林微纳苏州和林微纳科技股份有限公司

晶圆测试探针

晶圆测试探针使用在晶圆垂直针卡内，分为MEMS 针与弹簧探针两类。其中MEMS 针直径极细，具有高度的一致性和稳定性。MEMS 工艺能加工出细微直径的金属微结构，可满足细间距、弹性测试范围、高针数和高密度等测试需求。而弹簧探针则多用于WLCSP测试，具备成本低，维护方便等优点。